如果将FOL车间比喻成一家豪华七星级大酒店,键合工序机台众多,被安排在了大堂,晶圆切割工序跟减薄工序一样,机台数量少,都安排在了独立的小包厢里。
这两个工序通过一道小门相连接,共用去离子DI纯水...
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